药品再生回收设备系统

系统特色

藉由化学品再生回收设备系统将制造半导体、FPD(Flat Panel Display)、太阳电池等中用过的化学品(废液)以回收、蒸馏、过滤、添加化学品方式进行再生,并再利用于制程中。

系统类别

溶剂类废液中的IPA、Stripper、Ethanol、NMP以蒸馏方式去除不纯物并生成高浓度的化学品后再利用。但IPA、Ethanol因有共沸点,再生成为更高浓度,则需添加第三成分的溶剂进行蒸馏,蒸馏后再以膜过滤方式去除水分制造出再生化学品。 显影液则是以过滤器去除光阻等不纯物后,调整浓度后再利用。而硫酸废液则是以蒸馏方式浓缩后制造再生硫酸。

材质说明

溶剂系化学品的接液部采用不锈钢(SS316LEP, SS316LBA),设备外构采用不锈钢(SS304)。 (Model-1) 酸、碱类化学品,接液部采用氟化树脂(PFA、PTFE),设备外构采用PP或PVC。 (Model-2) 硫酸的低温部采用PFA、PTFE,高温部采用耐热玻璃、石英。

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