化学品供应系统

系统特色

制造半导体、FPD(Flat Panel Display)、太阳能电池时在洗净、Etching、Stripping、Photo-Lithography等工程中往往需要使用到高纯度化学品。此设备即是可维持化学品的高纯度的同时安全供应给制造装置。化学品通常由化学品制造商使用化学品容器(200L~20m3)运输到制造工厂。经由泵送或氮气驱送将化学品自容器,直接或经由储存槽,并过滤去除粒子杂质,最后以输送管供应给制造装置。

本设备由CCB(Clean Coupling Booth)、CDB(Clean Drum Booth)、Transfer Unit、CDM(Chemical Dispense Module)、Storage Tank、Supply Tank、化学品供应配管、VMB(Valve Manifold Box)等所构成。

系统类别

根据化学品的使用量,共分为大型定置型(Lorry System)、小型定置型(Drum Systemwith Tank) 、LS-200(Drum System without Tank)等三种。 另外,依照化学品的种类,则分成溶剂用的Model-1、酸碱用的Model-2、腐蚀性溶剂用的Model-3等三种类型。

材质说明

溶剂系化学品的接液部采用不锈钢(SS316LEP, SS316LBA)材质,设备外构为不锈钢(SS304)材质((Model-1))。酸碱系化学品的接液部采用氟化树脂(PFA、PTFE)的材质,设备外构为PP或是PVC材质(Model-2)。腐蚀性溶剂化学品的接液部采用氟化树脂(PFA、PTFE)的材质,设备外构则采用不锈钢(SS304)材质(Model-3)。

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