化学品稀释供应系统

系统特色

制造半导体、FPD(Flat Panel Display)所使用的化学品中,也有使用低浓度化学品。
藉由化学品稀释供给系统可在制造工厂中将高纯度化学品以纯水稀释成低浓度化学品,并供应给制造设备,借此降低化学品及运输成本。

系统类别

代表的化学品有显影液(TMAH、KOH等)、氢氟酸、氨水、洗净液。

材质说明

由于稀释的化学品为酸性或碱性,接液部采用氟化树脂(PFA,PTFE),设备外构则是使用PP或PVC(Model-2)。

应用产业

稀释的化学品可用导电度计、屈折度计、超音波浓度计、近红外线法(NIR)、PH计等确认稀释浓度。

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