溶剤系廃液中のIPA、ストリッパー、エタノール、NMPは蒸留によって不純物を除去し、高濃度の化学品として再利用されます。 ただし、IPAやエタノールは共沸点があるため、より高濃度に再生するために第三成分の溶剤を添加して蒸留し、蒸留後に膜ろ過によって水分を除去し、再生化学品を製造します。 ディベロッパーはフィルターによってレジストなどの不純物を除去し、濃度を調整して再利用されます。硫酸廃液は蒸留によって濃縮し、再生硫酸を製造します。
溶剤系化学品の接液部には主にステンレス鋼（SS316LEP、SS316LBA）が使用され、装置の外側はステンレス鋼（SS304）です（Model-1）。酸・アルカリ系化学品は接液部にフッ素樹脂（PFA、PTFE）が使用され、装置の外側はPPまたはPVC（Model-2）です。硫酸の低温部にはPFA、PTFEが使用され、高温部には耐熱ガラス、石英が使用されます。
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