薬品供給システム

System Features

半導体、FPD(フラットパネルディスプレイ)、太陽電池などの製造時に、洗浄、エッチング、ストリッピング、フォトリソグラフィなどの工程で高純度の化学品が必要とされることがよくあります。この装置は高純度の化学品を製造装置に安全に供給することができます。通常、化学品は化学品メーカーによって化学品容器(200L〜20m3)で製造工場に輸送されます。ポンプや窒素ガスを使用して化学品を容器から送り出し、直接または貯蔵タンクを経由して粒子混入を除去し、最後に輸送パイプで製造装置に供給します。

このシステムにはCCB(クリーンカップリングブース)、CDB(クリーンドラムブース)、トランスファーユニット、CDM(化学品供給モジュール)、ストレージタンク、供給タンク、化学品供給パイプ、VMB(バルブマニホールドボックス)などが含まれます。

システムの特長

化学品の使用量に基づいて、大型定置型(Lorry System)、小型定置型(タンク付きドラムシステム)、LS-200(タンクなしドラムシステム)の3つに分類されます。また、化学品の種類に応じて、溶剤用のModel-1、酸アルカリ用のModel-2、腐食性溶剤用のModel-3の3つのタイプに分類されます。

材質の説明

溶剤系化学品の接液部にはステンレス鋼(SS316LEP、SS316LBA)が使用され、装置の外側はステンレス鋼(SS304)です(Model-1)。酸アルカリ系化学品の接液部にはフッ素樹脂(PFA、PTFE)が使用され、装置の外側はPPまたはPVC(Model-2)です。腐食性溶剤化学品の接液部にはフッ素樹脂(PFA、PTFE)が使用され、装置の外側はステンレス鋼(SS304)です(Model-3)。

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