廃液の特性に応じて、溶剤系、酸系、ハイドロフッ化酸系、アルカリ系、過酸化水素系の廃液を別々に回収します。 酸やアルカリ系の廃液は一般的に中和や凝集沈殿処理を行い、河川や下水道に放流されます。 過酸化水素系の廃液は分解して河川や下水道に放流されますが、過酸化水素分解設備がない場合は廃液処理業者に処理を依頼します。 溶剤系の廃液はそれぞれ再生可能な化学品、再利用可能な化学品、廃液処理業者に回収処理されます。
溶剤系廃液の接液部には主にステンレス鋼（SS304）が使用され、酸・アルカリ系システムにはPP、PVC、PTFEライニング、PFAパイプが使用されます。
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