代表的な化学品にはエッチング用の混酸と洗浄液があります。
生産される混合化学品が酸性またはアルカリ性であるため、接液部にはフッ素樹脂(PFA、PTFE)が使用され、装置の外側はPPまたはPVC(Model-2)です。
混合化学品の濃度を自動滴定、近赤外線法(NIR)、pH計、電導度計などを使用して確認できます。
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