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1979年日本关东化学开发设计半导体制造产业所使用的化学品供应设备以来，已在半导体、晶圆代工、液晶平板显示器、太阳能电池等电子领域皆有显著的成绩，从日本、台湾、中国、韩国、到美国、欧洲等世界各地已陆续安装超过3,000套以上的系统工程实绩...

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