溶剂类废液中的IPA、Stripper、Ethanol、NMP以蒸馏方式去除不纯物并生成高浓度的化学品后再利用。但IPA、Ethanol因有共沸点，再生成为更高浓度，则需添加第三成分的溶剂进行蒸馏，蒸馏后再以膜过滤方式去除水分制造出再生化学品。
显影液则是以过滤器去除光阻等不纯物后，调整浓度后再利用。而硫酸废液则是以蒸馏方式浓缩后制造再生硫酸。
溶剂系化学品的接液部采用不锈钢(SS316LEP, SS316LBA)，设备外构采用不锈钢(SS304)。 (Model-1)
酸、碱类化学品，接液部采用氟化树脂(PFA、PTFE)，设备外构采用PP或PVC。 (Model-2)
硫酸的低温部采用PFA、PTFE，高温部采用耐热玻璃、石英。
