代表性化学品有Etching用混酸与洗净液。
由于生产的混合化学品为酸性或碱性,接液部采用氟化树脂(PFA,PTFE),设备外构则是使用PP或PVC(Model-2)。
混合化学品可使用自动滴定、近红外线法(NIR)、pH计、电导度仪等确认混合浓度。
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