依废液的特性，溶剂类、酸类、氢氟酸类、碱类、过氧化氢类需要分别回收。 酸、碱类废液一般是采中和、凝集沉淀处理后，放流至河川或下水道。 过氧化氢类废液则是将过氧化氢分解后，放流至河川或下水道，但若无过氧化氢分解设备时，则需交由废液处理业者处理 溶剂类废液则分别交给可回收化学品、可再利用化学品、废液处理业者处理。
溶剂类废液的接液部主要使用不锈钢(SS304)，酸、碱类系统则使用PP、PVC、PTFE lining、PFA管。
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