代表性化學品有Etching用混酸與洗淨液。
由於生產的混合化學品為酸性或鹼性，接液部採用氟化樹脂（PFA，PTFE），設備外構則是使用PP或PVC（Model-2）。
混合化學品可使用自動滴定、近紅外線法(NIR)、pH計、電導度儀等確認混合濃度。
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