化學品稀釋供應系統
系統特色
製造半導體、FPD(Flat Panel Display)所使用的化學品中，也有使用低濃度化學品。
藉由化學品稀釋供給系統可在製造工廠中將高純度化學品以純水稀釋成低濃度化學品，並供應給製造設備，藉此降低化學品及運輸成本。
系統類別
代表的化學品有顯影液(TMAH、KOH等)、氫氟酸、氨水、洗淨液。
材質説明
由於稀釋的化學品為酸性或鹼性，接液部採用氟化樹脂（PFA，PTFE），設備外構則是使用PP或PVC（Model-2）。
應用產業
稀釋的化學品可用導電度計、屈折度計、超音波濃度計、近紅外線法(NIR)、PH計等確認稀釋濃度。
